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8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進行校準，用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口，既提供模擬標準信號，也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。
標稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復性高
調(diào)控速度特別快
選配：現(xiàn)場總線接口
